TCAD mô phỏng

Mô phỏng linh kiện bán dẫn đi từ đâu đến đâu? Khóa này đi từ quy trình chế tạo, lưới tính và phương trình bán dẫn đến đọc đặc tuyến NMOS mẫu, kiểm lưới, hội tụ và hồ sơ kết quả. Các bài dùng nghiệm mô phỏng 180 nm; bài nào dùng mô hình giải tích thay cho DEVSIM thì ghi rõ. Khóa đang soạn và còn có thể đổi.

  1. Bài 1 TCAD trong quy trình thiết kế chip
  2. Bài 2 Từ công thức chế tạo đến đặc tuyến
  3. Bài 3 Cấu trúc, điện cực và trường dữ liệu
  4. Bài 4 Lưới tính và nghiệm tại các nút
  5. Bài 5 Cấy ion: liều, năng lượng và góc
  6. Bài 6 Ủ nhiệt: khuếch tán và lịch sử nhiệt
  7. Bài 7 Nồng độ hóa học, hoạt hóa, ion hóa và hạt tải
  8. Bài 8 Oxy hóa, lắng đọng, khắc và hình học
  9. Bài 9 Mặt nạ, spacer, profile hai chiều và bàn giao cấu trúc
  10. Bài 10 Phương trình Poisson và nghiệm cân bằng
  11. Bài 11 Dòng trôi, khuếch tán, phương trình liên tục và điều kiện biên
  12. Bài 12 Quét điện áp diode và tụ MOS
  13. Bài 13 Đọc I<sub>D</sub>–V<sub>G</sub> và I<sub>D</sub>–V<sub>D</sub> của NMOS mẫu
  14. Bài 14 Chọn bộ mô hình cơ bản
  15. Bài 15 Lưới và hội tụ: độ ổn định theo lưới, hội tụ và bảo toàn
  16. Bài 16 Đối chiếu với kết quả đo, hiệu chỉnh và kiểm chứng
  17. Bài 17 Tổng hợp NMOS: hồ sơ profile và hồ sơ kết quả device