Quy trình chế tạo chip

Một con chip được làm ra thế nào? Khóa này đi từ cát đến wafer silicon, qua quang khắc và EUV, làm transistor (FEOL) và dây nối (MOL, BEOL), rồi kiểm tra, cắt, đóng gói và đo tỉ lệ chip tốt. Số liệu máy móc lấy từ tài liệu hãng công bố, ghi rõ mức chắc trong từng bài.

1. Bài 1 Chip được xây từng lớp qua ba chặng
2. Bài 2 Từ thạch anh đến wafer silicon đơn tinh thể
3. Bài 3 Bảy công đoạn cơ bản trong fab
4. Bài 4 Quang khắc và giới hạn phân giải
5. Bài 5 EUV: gương, chân không và nguồn thiếc
6. Bài 6 FEOL: làm transistor từ ô silicon đến cổng thật
7. Bài 7 MOL và BEOL: tiếp xúc, dây đồng và damascene
8. Bài 8 Kiểm tra, cắt, đóng gói và chiplet
9. Bài 9 Yield và phòng sạch